超纯水初是美国科技界为了研制超纯材料(半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等)应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术生产出来的水，如今超纯水已在生物、医药、汽车等领域广泛应用。这种水中除了水分子(H20)外，几乎没有什么杂质，更没有细菌、病毒、含氯二恶英等有机物，当然也没有人体所需的矿物质微量元素，超纯水无硬度，口感较甜，又常称为软水，可直接饮用，也可煮沸饮用。
超纯水是在纯水的基础上经过光氧化技术、精处理和抛光处理等一系列复杂的纯化技术制得的。这样的水是一般工艺很难达到的程度。如水的电阻率大于18MΩ*cm，接近于18.3MΩ*cm则称为超纯水。
超纯水系统主要包括预处理系统、RO系统、EDI系统、抛光处理系统以及远程控制系统、监控系统、水量计量系统和其他辅助系统。采用中央监控系统控制纯水系统的运行操作，控制模式采用PLC+上位机，采用CPU和服务器无缝冗余。不使用国家明令禁止的产品，对化学品的使用应有泄露应急措施。各级设备应具有余量、备用，系统自动运行，同时也可以切换为手动。采用节约用能设计。超纯水泵、EDI增压泵、RO高压泵、UF反洗泵、RO供给水泵采用变频器控制。原水直接来源于业主自行建设的水箱，不再单独建设原水箱。
超纯水生产具体设备介绍：
1、预处理系统
包括原水箱、原水泵、杀菌剂、石英砂过滤器、活性炭过滤器、换热器、阻垢剂系统。作为反渗透的前处理，主要目的是去除原水中的悬浮物、胶体、色度、浊度、有机物、硬度等妨碍后续反渗透运行的杂质。
2、双级反渗透系统
包括保安过滤器、高压泵RO、反渗透系统。反渗透系统承担了主要的脱盐任务。有效地判断和确定系统的运行情况。
3、EDI系统
EDI的作用就是通过除去电解质(包括弱电解质)的过程，将水的电阻率从0.05～1.0MΩ·cm提高到5～16MΩ·cm。
4、抛光混床
无化学析出的核子级树脂，去除纯水中残余的微量带电离子及弱电解质，使水质达到18MΩ·cm以上。
5、终端超滤
能有效地去除水中的微粒、胶体、细菌、热源和有机物力。是整套系统的防火墙，确保产出的高纯水不受二次污染。
设备降低能耗，减少化学药品的使用量，综合成本低，整体设备运行稳定、自动化程度高、无需人工操作，各自动运行程序的工艺参数、控制参数可在线设定。
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